回転ナノ位置決めステージ FBR Series

モーター式コンパクト精密

ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。