エリプソメータ

... M-2000®分光エリプソメーターは、薄膜の特性評価における多様な要求に応えるために設計された製品です。高度な光学設計、広いスペクトル・レンジ、高速データ収集により、非常にパワフルで汎用性の高いツールとなっています。M-2000は、スピードと精度の両方を実現しています。当社の特許技術であるRCEテクノロジーは、回転補償エリプソメトリーと高速CCD検出器を組み合わせたもので、幅広い構成で全スペクトル（数百の波長）をわずか数秒で収集します。M-2000は、In-situモニタリングやプロセスコントロールから、大面積のユニフォミティーマッピングや汎用の薄膜特性評価まで、あらゆる分野で真に優れた性能を発揮する初めてのエリプソメーターです。他のエリプソメーターの技術では、より早くフルスペクトルを取得することはできません。 先進のエリプソメーター技術 M-2000は、当社の特許技術であるRCE（回転補償型エリプソメーター）を採用し、高精度を実現しています。 スペクトルの高速取得 RCEの設計は、実績のある先進のCCD検出器と互換性があり、すべての波長を同時に測定することができます。 幅広いスペクトル 紫外から近赤外まで、700以上の波長を同時に収集します。 フレキシブルなシステムインテグレーション モジュール式の光学設計により、プロセスチャンバーへの直接取り付けや、テーブルトップベースへの設置が可能です。 精度 高度な設計により、どのようなサンプルでも正確なエリプソメトリー測定が可能です。 ...

... theta-SEは、薄膜の均一性を評価するためのプッシュボタン式の分光エリプソメーターです。高度なエリプソメトリー装置をコンパクトなパッケージに収め、お求めやすい価格で提供しています。 完全な統合 Theta-SEは、300mmのサンプルマッピング、小スポット測定ビーム、高速サンプルアライメント、ルックダウンカメラ、そして最新のデュアルローテーションエリプソメーター技術を備えています。Theta-SEには、膜厚や光学特性の空間的均一性を測定するために必要なすべての機能が備わっています。 高速性 高速ポイント・ツー・ポイント移動、高速サンプル・アライメント、デュアル・ローテーション・エリプソメーター技術による連続データ収集により、サンプル・スループットが最適化されています。 コンパクト 特許取得済みのデュアルシータ回転ステージにより、テーブルトップ型の小型装置で300mmのフルマッピングを実現しました。装置のフットプリントは、300mmウェーハよりわずかに大きいだけです。 ユーザーフレンドリー 自動データ解析機能とレポート機能を搭載しているので、プッシュボタンで操作でき、測定結果をすぐに確認できます。 手頃な価格 theta-SEは、分光エリプソメトリと300mmユニフォミティマッピングのパワーをリーズナブルな価格で提供します。 ...

... RC2®のデザインは、25年の経験に基づいています。RC2®のデザインは、25年の経験に基づいており、従来のモデルの最良の特徴と革新的な新技術を組み合わせています：二重回転補正器、アクロマート補正器のデザイン、先進的な光源、次世代分光器のデザイン。RC2は、分光エリプソメトリーの多様なアプリケーションに対応する、ほぼユニバーサルなソリューションです。 高度な測定能力 RC2は、ミューラー・マトリックスの16要素すべてを収集する最初の商用分光エリプソメーターです。ミュラーマトリックスSEは、最先端のサンプルやナノ構造の特性評価を可能にします。 最高の測定精度 先進的な測定機能により、高速CCDベースのエリプソメトリで最高の精度を実現しています。 デュアルローテーションコンペンセーター 2枚のコンペンセータを同期回転させることで、高精度、高速、完全なミューラーマトリクス測定を実現しました。 アクロマティックコンペンセーターデザイン※1 新設計のアクロマティックコンペンセーターにより、広いスペクトルレンジで最適なパフォーマンスを実現。 ...

... iSEは、薄膜加工のリアルタイムモニタリングのために開発された新しいin-situ分光エリプソメーターです。 iSEは、当社の実績ある技術を用いて、蒸着膜の光学特性の最適化、サブオングストロームの感度での膜成長の制御、および成長速度のモニタリングを可能にします。 パワフル スペクトロスコピックエリプソメトリー（SE）のパワーにより、iSEは他の技術に比べてはるかに高い信頼性で膜厚と光学特性を測定することができます。 Compact 新設計のコンパクトなデザインにより、あらゆるチャンバーに簡単に組み込むことができます。 多彩な機能 金属、半導体、酸化物、窒化物など、さまざまな薄膜の厚さや光学特性を正確に測定できます。 手頃な価格 スペクトロスコピックエリプソメトリーの性能をリーズナブルな価格で提供します。 簡単な操作性 ユーザーフレンドリーなインターフェースで、薄膜の成長やエッチングをリアルタイムに解析できます。 ...

... 薄膜の厚さや屈折率を日常的に測定するために、このエリプソメーターは、サンプルを装着し、フィルムに合ったモデルを選んで「測定」を押すだけ。数秒で結果が得られます。 簡単な操作性 プッシュボタン式の操作に加えて、高度なソフトウェアが作業を代行してくれます。 パワフル 実績のある分光エリプソメーター技術により、他の技術に比べてはるかに高い信頼性で厚さと指数の両方を得ることができます。 フレキシブル 誘電体、半導体、有機物など、さまざまな素材に対応します。 手頃な価格 シンプルなサンプルシステムのための分光エリプソメトリー。 速い 何百もの波長を同時に数秒で収集し、すぐに結果を得ることができます。 ...

... VASE®は、半導体、誘電体、ポリマー、金属、多層膜など、あらゆる種類の材料の研究に使用できる、高精度で汎用性の高いエリプソメーターです。193～3200nmという広い波長範囲で、高い精度と正確さを兼ね備えています。波長と入射角を変えることで、以下のような柔軟な測定が可能です。 - 反射および透過エリプソメトリ - 一般的なエリプソメトリー（異方性、リターダンス、複屈折 - 反射率(R)および透過率(T)強度 - クロス偏光R/T - 脱分極 - 散乱計 - ミューラー・マトリックス(Mueller-matrix) 最高のデータ精度 VASEには、回転式アナライザーエリプソメーター（RAE）と特許取得済みのAutoRetarder®が搭載されており、比類のないデータ精度を実現しています。 高精度な波長選択 スキャニングモノクロメーターは、分光エリプソメトリー用に特別に設計されています。スピード、波長精度、光のスループットを最適化するとともに、波長の選択とスペクトルの分解能を自動的に制御します。 フレキシブルな測定 VASEは、垂直なサンプルマウントを備えており、反射、透過、散乱を含む多様な測定ジオメトリーに対応します。 オートリターダ®テクノロジー 回転型アナライザーエリプソメーター（RAE）は、Ψ/Δデータが豊富に含まれる「ブリュースター」条件付近でデータ精度を最大限に高めます。しかし、この領域はシグナルの少ないサンプルには限界があります。特許取得済みのAutoRetarderは、コンピュータ制御の波長板で、光ビームの偏光をサンプルに到達する前に変更します。これにより、どのようなサンプルでも、どのような条件でも、最適な測定条件を得ることができます。 AutoRetarderは正確に測定します。 - ...

... IR-VASE®は、FTIR分光法の化学的感度と分光エリプソメトリーの薄膜感度を組み合わせた、最初で唯一の分光エリプソメトリー装置です。IR-VASEは、1.7～30ミクロン（333～5900波数）の広いスペクトル範囲をカバーしています。IR-VASEは、1.7～30ミクロン（333～5900波数）の広いスペクトルをカバーし、研究や産業における薄膜やバルク材料の特性評価に使用されます。この急速に成長している技術は、光学コーティング、半導体、生物学、化学の各業界や研究所で使用されています。 広いスペクトル範囲 近赤外から遠赤外までをカバー 1.7～30ミクロン (333～5900波数) 分解能：1cm-1～64cm-1 極薄フィルムへの高い感度 分光エリプソメトリのデータには、反射光や透過光の「位相」と「振幅」の情報が含まれています。赤外エリプソメトリーの位相情報は、FTIRの反射／吸光に比べて、化学組成に対する感度を維持したまま、超薄膜に対する高い感度を実現します。 非破壊検査 IR-VASEは、様々な材料の特性を非接触、非破壊で測定することができます。測定には真空を必要とせず、生物学や化学の分野でよく見られる液体/固体の界面の研究にも使用できます。 ベースラインやリファレンスサンプルが不要 エリプソメトリーは、精度を維持するための基準となるサンプルを必要としない自己参照技術です。ビーム全体を収集する必要がないため、ビーム径よりも小さなサンプルを測定することができます。 高精度な測定 特許取得済みの校正およびデータ収集手順により、装置の全範囲にわたってΨおよびΔの正確な測定が可能です。 ...

... VUV-VASE®可変角度分光エリプソメーターは、リソグラフィー薄膜の光学的特性評価のゴールドスタンダードです。真空紫外（VUV）から近赤外（NIR）までの波長を測定できます。これにより、半導体、誘電体、ポリマー、金属、多層膜、そして浸漬液などの液体など、さまざまな材料の特性評価に驚くほどの多様性をもたらします。 幅広いスペクトルレンジ VUV-VASEは、140nm以下から1700nmまでの波長をカバーしています。 高精度 VUV-VASEは、特許取得済みのAutoRetarder®を使用することで、あらゆるサンプルの測定において精度を保証します。 便利なサンプルローディング 特別な設計により、システムパージを汚染することなく、迅速で効率的なサンプルローディングが可能です。 サンプルの保護 モノクロメーターをサンプルの前に配置することで、感光材料の露出を抑えます。 ...

... オートSEは、堀場科学社製の分光楕円体計です。 簡単な押しボタン操作で薄膜サンプルの自動分析が可能です。 数秒後に、厚さ、光学定数、表面粗さ、および膜の不均一性に関する情報を含む完全な解析レポートが生成されます。 Auto SEは、自動 XYZステージ、測定部位のリアルタイムイメージング、および自動スポットサイズ選択を特長としています。 Auto SEは、日常的な薄膜測定やデバイス品質管理に適しています。 ...

... PHE 分光楕円体計ソフトウェアには、あらかじめ決められた測定パラメータを備えたモデルとフィルムライブラリがあり、オペレータはアプリケーションを選択して迅速に測定を実行できます。 ライブラリには数百の異なるモデルが含まれています。 使いやすいPHE 分光ソフトウェアにより、複数の材料層や複合層、界面層などを用いた複雑な薄膜構造の測定と解析が可能です。 最先端のソフトウェアには数百の材料モデルがあります。 PHE-102エリプソメには、すべてのサンプルデータの取得と分析に必要なすべてのハードウェアとソフトウェアが含まれています。 ...

... UNECS シリーズは、薄膜の屈折率と厚さを迅速かつ正確に測定する分光楕円体の一種です。 独自の測定方法を採用し、コンパクトサイズと高速測定を実現します。 ポーテーブルタイプ、自動ステージタイプ、内蔵タイプなど、STRong 製品ラインがあります。高速測定： スナップショット測定方法を実現し、高速 測定はポイントあたり20msです。 可視分光範囲： スペクトル波長範囲を選択できます。 標準タイプは 530nm 〜 750nmで、可視スペクトルタイプは380nm ...