熱式質量流量調節器 GFC

ガス用液晶ディスプレイアナログ出力

デザインの特徴 - FS精度は±1%が標準 - 硬質金属構造 - 0～10sccmから0～1000slpmまでの流量範囲が利用可能 - 最大圧力1000 psig (70 bar) - リークインテグリティ 1 x 10-9 sccs のヘリウム - ＮＩＳＴトレーサブル認証 - 傾斜可能なLCD読み出し機能を内蔵（一部機種 - 局所的または遠隔的な設定点制御 - 0-5 Vdcおよび4-20 mA信号 - 回路保護 - 積算器オプション LCD 表示はまたリモート・ディスプレイと提供される任意です アルミモデルをご用意しております。 GFC型サーマルマスフローコントローラは、ガスの設定流量を表示し、制御するように設計されています。 GFCは、従来のマスフロー装置の特性と精度をコンパクトなデザインにまとめ、従来では実現できなかった低コストを実現しました。これらのコントローラには、非腐食性のガス用にはアルミニウムと真鍮、腐食性のアプリケーション用には316ステンレス鋼で構成された流路エレメントと組み合わせて、高度な直管センサーが組み込まれています。ゼロ調整とスパン調整は、トランスミッタの外側からアクセス可能です。 動作原理 計量されたガスは、2つの層流路に分かれており、1つは一次流路を通る流路で、もう1つはキャピラリーセンサーチューブを通る流路です。両方の導管は層流を確保するように設計されているため、それらの流量の比率は一定です。 センサチューブ上の2つの精密温度検出用巻線を加熱し、流れが発生するとガスが上流から下流の巻線に熱を伝え、その結果生じる温度差は、センサ巻線の抵抗値の変化に比例します。その結果生じる温度差は、センサ巻線の抵抗値の変化に比例します。