反射材用パイロメーター Sekidenko MXE

ディスプレイなしUSBコンパクト

高速、非接触光学温度パイロメーター、反射率測定と放射率補償を統合した Advanced EnergyのSekidenko MXEは、超高速サンプリングレート（最大10kHz）で測定し、温度とアクティブ反射率を組み合わせて動的プロセスでの正確な制御を実現します。 •クローズドループプロセス制御を可能にする正確な温度測定 •材料の種類と必要な温度範囲に基づいて設定可能な波長 •アナログとデジタル通信の両方 概要 Sekidenko MXEパイロメーターは速度と精度を兼ね備え、正確で非接触で再現可能要求の厳しいアプリケーションの測定と制御。 その高速（最大10kHz）性能は、回転サセプタなどの移動ターゲットを持つプロセスに最適です。 また、レーザベースの処理や高速アニールなどの動的プロセスにも非常に適しています。 非常にコンパクトなMXEは簡単に統合できます。 柔軟な制御オプションにより、さまざまな I/O プロトコルがサポートされます。 メリット •重要なプロセスの温度測定精度を 向上 •再現性の向上と変動の最小化 •生産性、歩留まり、スループットの 向上 •複数のチャンバおよび基板材料にわたる安定性と信頼性を向上 •その場で非接触温度と放射率測定 •さまざまなアプリケーションに最適な高速測定 •さまざまな温度と反射波長 •EtherCAT®、USB、RS-232出力オプション