卓上型電源 Trek series

DC調節可能過電流保護付き

概要 Advanced EnergyのTrek E‑chuck（静電チャック）用電源は、クランプ電圧、オフセット電圧、DCバイアスオフセットの精密制御と、過電流（over‑current）、ウェーハ検出（wafer‑present）、ウェーハクランプ（wafer‑clamped）のしきい値設定を組み合わせています。カスタムのクランプ/デクランプシーケンスやプログラム可能な波形により、チャック動作を最適化してウェーハの付着やポッピングを低減し、半導体製造のスループットと歩留まりを改善します。

製品ステータス Active

主な機能

• 監視されるしきい値：over‑current、wafer‑present、wafer‑clamped
• 調整可能な電圧：クランプ電圧およびオフセット電圧
• バイアス制御：内部または外部のDCバイアスオフセット制御
• カスタマイズ可能なシーケンス：クランプ/デクランプのシーケンスおよびプログラム可能な波形
• ウェーハの付着（sticky）やポッピングを防止するよう設計
• スループットを向上させ、ウェーハ損傷を低減し、歩留まりを向上

技術資料（抜粋）

• Trek 645 データシート — データシート — PDF — 111 KB — 2024年2月6日
• Trek 645‑HT データシート — データシート — PDF — 163 KB — 2025年12月11日
• Trek 646 データシート — データシート — PDF — 116 KB — 2024年2月18日
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — アプリケーションノート — PDF — 607 KB — 2023年6月15日

用途 デポジション、エッチング、イオン注入、電子ビーム検査など、静電チャックの電源制御が必要な半導体製造プロセス向け。

仕様 / 技術仕様

• 制御パラメータ：over‑current、wafer‑present、wafer‑clamped のしきい値
• 電圧制御：調整可能なクランプ電圧およびオフセット電圧
• バイアス制御：内部または外部のDCバイアスオフセット制御
• シーケンス制御：構成可能なクランプ/デクランプシーケンスおよびプログラム可能な波形
• 主な利点：ウェーハ損傷を低減し、付着とポッピングを防ぎ、歩留まりとスループットを改善
• 参照モデル：Trek 645、Trek 645‑HT、Trek 646