リニアポジショニングステージ PRO115LM series

リニアモータ駆動単軸精密

PRO115LMは、リニアモーター、密閉メカニカルベアリングステージの中で最も小型のステージです。他のPRO-LMシリーズステージの基本的な精密設計をベースとしたPRO115LMは、スペースに制約のある中高性能アプリケーションに理想的な選択肢です。 -頑丈な機械構造 -ダイレクトドライブリニアモーターによる超精密モーション -移動量50mm～600mmの9モデル -真空仕様とクリーンルーム仕様をご用意 -変化する環境下で高い性能を発揮するThermoComp®を利用可能 堅牢な機械構造 長寿命の循環式リニアガイドベアリングシステムと低摩擦シーリングソリューションにより、PRO115LMはレーザー加工などの産業用アプリケーションにとって魅力的なソリューションとなっています。PRO115LMの基本的な外部構造は、サイドシールが汚れや微粒子のステージへの侵入を防ぐ一方で、破片からの保護を提供します。湾曲したハードカバーデザインは、ステージ上に過剰なゴミが集まるのを防ぐ自然な形状を提供します。 精密な動作性能 PRO115LMシリーズステージは、ステージシーリングシステムによってゴミから保護された高精度非接触リニアエンコーダで最適化されています。これらのエンコーダは、最小 5nm までのインクリメンタルモーションとサブマイクロメー ターの位置決め繰り返し精度を提供します。精密な再循環リニアベアリングと機械加工および組み立ての職人技により、優れた幾何学的性能仕様が実現されています。オプションのHALAR工場校正により、位置決め精度は±0.75 µmまで向上します。