ロープロファイルポジショニングステージ ANT130LZS series

Z軸モーター式多軸

ANT130LZSステージは、超薄型の垂直運動性能の最高峰です。 極めて低い摩擦特性を持つデュアルサイドマウント空気圧式カウンターバランスを特徴とし、精度、再現性、スピード、信頼性を見事に兼ね備えています。ANT130LZSステージは、印象的な動的性能と十分な負荷容量により、コンパクトなフォームファクターで優れた垂直運動が必要な場合に理想的な選択です。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大160 mmの移動長で実現 -最大14kgの可搬重量をオフセット可能なデュアルサイドマウント・カウンターバランスにより、超低背を実現。 -高精度クロスローラベアリングにより、優れた動的性能と十分な負荷容量を実現 -アイアンレス・ダイレクトドライブ・リニアモータにより、プロセスのスループットと信頼性を最大化 -多軸モーションシステムに簡単に統合可能 ANT130LZS ステージは、高精度で高ダイナミックな垂直位置決めアプリケーションに最適で、以下のような最小限の設置面積を必要とします： -フォトニクスの組み立てと検査 -ファイバーアライメントと最適化 -光学部品の製造、試験、検査 -センサー試験・認定 -半導体加工・検査 -研究及び実験室の適用