ウェハー用印刷機 HYCON XW

インクジェット自動

ラウンドウェーハの表裏面印刷（バンピング、ウェーハ裏面コーティング）用に設計されたフレキシブルな加工セルです。このシステムは、ローディングユニットと印刷システムの2つの主要モジュールで構成されています。ローディングユニットは、マガジンアンローディングシステム、ロボットユニット、プリアラインステーションの3つのコンポーネントで構成されています。 マガジンアンローディングシステムは、2つのマガジンポジションを備えており、ここからウェーハが装置に供給されます。バキュームエンドエフェクター付き3軸ロボットユニットは、ストレスのないウェーハ搬送を実現します。フレキシブルピックアップの採用により、極薄ウェーハや曲面ウェーハでも様々なエンドイフェクターを使用することが可能です。 マガジンからウェーハを取り出した後、内蔵のプリアライメントステーションで、その後の印刷のために、平面またはノッチを認識して再度位置決めされます。その後、ウエハロボットがウエハを真空印刷用ネストにセットし、下降して固定します。印刷テーブルを印刷機に搬入した後、移動カメラでフィデューシャルを検出し、スクリーンやステンシルの微調整を行います。 印刷されたウェハは、再びマガジンへ搬送されるか、ドロワーシステムにより個別に取り出されます。オプションとして、処理されたウェハーは搬送システムによって他の機械に自動的に供給することもできます。 熱処理などの後工程は、オプションでローディングセル内またはセル上に組み込むことができます。ウェハー上のテキストや1D/2Dコードを識別するために、OCRやカメラ読み取りシステムが利用可能です。SECS-GEMプロトコルによるセルの通信、またはカスタムMESシステムとの接続もオプションで可能です。