attoAFM IIIは低く、超低い温度で適用のために特に設計されている原子力の顕微鏡である。音さに基づいて非光学せん断力の検出が原因でこのシステムはライトの入力が問題となる適用に理想的に適する。attoAFM IIIの顕微鏡の典型的な適用は半導体の構造のゲートの顕微鏡検査(SGM)をスキャンしている。この顕微鏡は商用化された音さの先端と互換性があり、閉じたループのスキャンのために任意干渉法によるエンコーダーと利用できる。
attoAFM IIIは先端サンプル力のために検出のメカニズムとして音さセンサーを使用し、高リゾリューションの無接触モード イメージ投射を光学偏向の検出の技術のための必要性なしで許可する。AFMの先端は横の方向で振動するために刺激される小さい水晶音さの1つの熊手につく。サンプルに近づくことがフィードバック信号として監視されたりおよび/または使用される場合の先端サンプル相互作用による広さの減少。この技術の力の決断は普通0.1 pNである。
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