質量流量調節器 MFC 2132

ガス用コンパクトアナログ

Axetris 独自の Platinum MEMS 技術（MEMS：Micro Electro-Mechanical Systems）をベースにした、 RS-232 EIA およびアナログ 4 ～ 20mA インターフェースを備えたコンパクトなマスフローコントローラです。 以下の利点を備えています。 超小型サイズ 高速セトリングタイム 1000:1 高い長期安定性 工業用、分析用、医療用アプリケーションのスタンドアローンアプリケーションやシステムインテグレーションに推奨されます。