絶対圧力センサ SE102

ピエゾ抵抗型アナログプロセス

モデルSE102は、高過負荷圧力（HOP）、すなわち高耐圧および高バースト圧力の圧力センサダイで、ピエゾ抵抗動作原理に基づいています。 HOPセンサダイは、6インチシリコンマイクロマシニングプロセスによって製造され、シリコンオンシリコン構造を特徴としています。 圧力ダイヤフラムのユニークな設計により、SE102は高感度と臨時過負荷圧力の両方を備えています。 このモデルは、絶対圧力、ゲージまたは差圧の測定用に設計されています。 ゲージまたは差圧リファレンスには、2 種類の構造があります。 1つはシリコン・オン・シリコン構造、すなわちシリコン制約、もう1つはシリコン制約なしです。 非信号コンディショニング・センサー・ダイとして、標準 SE102は、ブリッジ調整と温度補償の両方に対応する5つのはんだパッドを備えたオープンブリッジ回路で利用できます。 パッキングの前に、各 SE102センサーダイは個別にテストされ、仕様に適合します。 さまざまなマーケティングニーズに合わせてオプションとして3 種類のパッケージをご用意しています。