ガス圧力コントローラ SLA7840

流量調節可能デジタル

SLA7840 メタルシールプレッシャーコントローラ/フローメータ 高清浄流路、優れた繰り返し性、安定性、応答時間 ブルックスのモデル SLA7840は、圧力を制御すると同時に、流量レートを測定する高清浄メタルシール装置です。プレッシャートランスデューサのリモート信号、調整可能な一体型PID制御エレクトロニクス、コプラナー制御バルブを備え、圧力を必要なレベルで一定に保ちます。コプラナーバルブは、圧力変動に対する耐性やリークレートの低減で他のメタルシールコントローラを凌ぎ、長期的に安定したプロセスを実現できます。特長 一体型プレッシャートランスデューサ 応答時間： 1秒以下 0 - 3 sccmから0 – 30,000 sccmのフルスケール流量レートの幅広い測定レンジ 最大圧力 500 psig メタルシール流路：最大32µインチRa表面仕上げ リーク率を低減するコプラナーバルブ マルチガス/マルチレンジ機能を備え、1台のデバイスで最大10種類までガスキャリブレーションとガスレンジのプログラム・保存が可能 DeviceNet®およびアナログ通信オプション メリット 大型のコプラナーバルブ制御レンジにより、プロセスにおける圧力変動への耐性が高く、長期安定性に優れたプロセスを実現 オールメタル製接ガス･接液部流路で、粒子、水分、汚染が混入しないプロセスを実行 キャリブレーションまたはテスト用にマスフローコントローラとしても設定可能 予備品在庫を削減するマルチガス/マルチレンジ機能 コプラナーバルブにより制御レンジが強化され、プロセス制御に必要なパーツ数を削減 コンパクトな省スペース型デザインで組み込みも簡単 デジタル通信により試運転も簡単で、システム配線を簡素化