ターボ分子真空ポンプ Turbo TM 1100 A

乾式産業用コンパクト

ターボ分子ポンプTurboは、Buschの 新しい製品ラインナップです。 ガラス コーティングから真空炉に至るまで、 多種多様な産業で使用されています。 これらの産業分野では、堅牢で信頼 性が高く、製造工程で使いやすい真空 ポンプが求められます。Buschではラ ンニングコストを重視しつつ、生産量 の拡大、運転条件の変化への適応、メ ンテナンスの簡易性を実現した革新 的な真空ソリューションを提供し続け ることにより、稼働率を極限まで向上 させます。Buschのターボ分子ポンプ Turboは、過酷な産業用途に耐えるよ う設計されており、大容量のガスを排 気することが可能です。 Turboシリー ズは、オイルフリーで真空汚染するこ との無い革新的なセラミックベアリン グを採用しているため、お客様にてオ イルやグリスの注入作業を一切必要と しません。また、取付け姿勢もフリーで す。Buschは、電子機器を内蔵したコン パクトで適応範囲の広い、コントロー ラー一体型ターボ分子ポンプ、そして 真空システムを、産業用途向けに提供 しています。 用途 ガラスコーティング装置（建築用ガラス、自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ基板） 薄膜太陽電池製造（太陽光発電） 材料の表面処理および摩耗コーティングの塗布 機能的、装飾的なコーティング（メタライゼーションを含む） 光学コーティング（眼科、精密光エレクトロニクス） フィルムまたはフォイル上のロールコーティングまたはウェブコーティング PVDおよび高いガス負荷を伴うその他のプラズマ処理システム 真空炉 / 真空ろう付け 電子ビーム溶接