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素材分析用顕微鏡 ZEISS ORION NanoFab
デジタル カメラヘリウム イオン ビーム

素材分析用顕微鏡
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特徴

技術的応用
素材分析用
その他の特徴
デジタル カメラ, ヘリウム イオン ビーム
分解能

0.5 nm

詳細

ORION NanoFabは、ナノパターン化および可視化エンジンによるサブ10nmナノ構造物の製造などの用途向けに設計された3イン1マルチビームイオン顕微鏡です。 これは、ユーザーがシームレスに切り替えることができる3つのビームタイプ、すなわちガリウム、ヘリウム、ネオンビームを備えています。 ガリウムFIBは、物質サンプル中の質量物質を除去するのに適しています。 一方、ヘリウムビームは、10nm未満の構造物の製造に最適です。 ネオンビームは、高スループットで高効率の速度でナノ構造を形成することを可能にします。 NanoFabは0.5nmの高い画像分解能を持ち、同じ機器を使用したサンプルの高解像度画像が可能です。

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カタログ

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。