素材分析用顕微鏡 ZEISS ORION NanoFab

デジタル カメラヘリウム イオン ビーム

ORION NanoFabは、ナノパターン化および可視化エンジンによるサブ10nmナノ構造物の製造などの用途向けに設計された3イン1マルチビームイオン顕微鏡です。 これは、ユーザーがシームレスに切り替えることができる3つのビームタイプ、すなわちガリウム、ヘリウム、ネオンビームを備えています。 ガリウムFIBは、物質サンプル中の質量物質を除去するのに適しています。 一方、ヘリウムビームは、10nm未満の構造物の製造に最適です。 ネオンビームは、高スループットで高効率の速度でナノ構造を形成することを可能にします。 NanoFabは0.5nmの高い画像分解能を持ち、同じ機器を使用したサンプルの高解像度画像が可能です。