磁気高速ステアリングミラー M-FSM62

MFSM62は、オープンループで+85 mrad、クローズドループで+50 mradの角度ストロークを持つ、SiC基板を使用した直径+30 mmのクリアアパーチャーの磁気ベースのファストステアリングミラーです。MFSM62は、正確な位置決め制御のために渦電流位置決めセンサー（ECS）を装備することができます。