EFEM EFEM

EFEM（Equipment Front End Module）システム 特長とメリット * マガジン内およびマガジン間のウェーハをダメージレスで自動搬送します。 * オプションのベルヌーイフィンガーでウェーハの薄型化が可能。 * お客様のニーズに合わせたカスタマイズ生産が可能です。 * 多品種・異種マガジン、異サイズウェーハの搬送に対応。 * マガジンの自動開閉機構を装備 * 効率的なフィルタリング装置（HEPA仕様）を提供。 * IECおよびANSIの国際規格に準拠したESD保護。 * 半導体関連の自動化プロトコルをサポートします。 * バーコード、QRコード、数字、文字に対応したウェハーID用OCRモジュール（オプション）。 装置フロントエンドモジュールは、主に半導体装置へのウェーハの自動供給とアンローディングを実現し、生産コストの削減、生産効率の向上、プロセス精度と純度要件を確保するために使用します。ウエハーの自動スキャン、自動搬送、自動キャリブレーション機能を持ち、顧客のニーズに応じてIDリーダー（フロントとバック）を提供することができ、ウエハーサイズ、マガジン数量、アライナタイプなどに応じてカスタマイズすることができる。 独立した統合により、当社は半導体業界のお客様に様々なウェーハハンドリングオートメーションシステムソリューションを提供することをお約束します。 半導体業界のニーズに応え、国際的な半導体通信プロトコルに対応し、SECS/GEM通信モジュールをサポートし、情報管理要件や無人化管理トレンドにマッチした装置です。