リニアナノ位置決めステージ COR-PS
圧電単軸高精度

リニアナノ位置決めステージ
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特徴

方向
リニア
タイプ
圧電
軸の数
単軸
その他の特徴
高精度, 高速, 閉ループ, 顕微鏡, サブナノメーター ソリューション機能, 真空対応

詳細

Phi Driveは、小型で非常に小さな変位が必要とされる産業、研究、計測の市場分野向けに、ナノメートル位置決め圧電ステージを開発しました。 ナノメートルまたはサブナノメートルの変位を達成することは容易ではなく、このシステムは外部ノイズに非常に敏感であることが多いです。COR-PS製品群のステージは、以下の特徴を備えているため、ノイズの発生源に強くなっています。 慣性力の高いスチールとエルガルのハイブリッドレイアウトにより、機械的な振動にも安定感を与えます。 ノイズを最小限に抑え、外乱に対する堅牢性を高めるために特別に設計されたエレクトロニクス すべてのCOR-PSステージは、圧電アクチュエータと変位増幅型たわみ機構を採用しています。 ナノメートルの分解能。15~0.18 nm 110 µm~160 µmの移動範囲 最大荷重が非常に高い。5 kg 直線性の誤差。 0.0.0022%まで0.027%ダウン ダイナミックレンジ0-100 Hzから0-700 Hzまで 高真空オプション

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。