回転ポジショニングステージ COR-RS
圧電多軸高精度

回転ポジショニングステージ
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特徴

方向
回転
軸の数
多軸
その他の特徴
高精度, 閉ループ, モジュール式

詳細

ナノメートルおよびサブナノメートルシフトに到達することは容易ではなく、しばしば外乱の存在によって制限されます。このため、Phi Driveの回転テーブルには、ノイズを制限するために特別に開発された電子機器が搭載されており、その堅牢性を高めています。 COR-RSシリーズの全製品に圧電技術とフレクシャー型機構を採用しており、これらの技術を組み合わせることで、高いカスタマイズ性を生かした高性能化を実現しています。 +/- 360°回転 高い角度分解能 カスタマイズ:性能と寸法 クローズドループ制御 高真空レイアウトが可能 液体環境での作業 多軸システムのためのモジュラーソリューション

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カタログ

FUSES
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20 ページ
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。