回転小型ナノ位置決めステージ COR-MICRO
圧電サブナノメーター ソリューション機能高精度

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特徴

方向
回転
タイプ
圧電
その他の特徴
高精度, サブミクロン精度, 閉ループ, サブナノメーター ソリューション機能

詳細

半導体製造、顕微鏡、バイオテクノロジー、医療工学、産業オートメーションなどの分野では、ナノメートルおよび/またはナノラジエント範囲のオーダーの高分解能および再現性のある位置決めシステムが必要とされています。圧電技術でしか保証できない短い応答時間の要求が加わります。そのため、位置決めの高精度化は、基本的にあらゆる分野で基本的な要求となっています。 CORラインの全製品に圧電技術とフレクシャー型機構を搭載しています。これらの技術の融合により、高性能と高度なカスタマイズ性を実現しています。 +/- 360°フルトラベルレンジ 高い角度分解能 カスタマイズのレベルが高い:性能と拘束力 クローズドループ制御 高い真空作業能力 フルイマージョンの作業能力 多軸ソリューション ノーランアウト バックスラッシュなし

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。