パフォーマンステスト システム VIP EXTENDED

インピーダンス研究開発用宇宙産業用

概要
VIP Extended は、シリコン、SiC、GaN のパワーデバイス向け並列試験に対応した構成可能な自動試験装置（ATE）システムです。Wafer sort、strip test、pick & place、gravity handler 環境向けに設計され、最大48並列のテストサイトをサポートしてスループットを向上させ、試験あたりのコストを低減します。

主な特徴

• ドライバIC、IGBT、パワーMOSFET、Power IC などの低電圧およびパワー製品向けに構成可能な ATE
• 最大48サイトの並列試験により高い UPH を実現
• 高密度リソースとモジュラーアーキテクチャで生産ラインへの柔軟な統合が可能
• TMU、ピコアンメータ、LCR、PPMU、高電流 Sink/Source モジュール等の高精度測定器を統合

導入メリット

• Wafer sort や strip test のワークフローに最適化
• Rg、Cg、UIS の並列測定を最大48サイトで実行
• チャネル密度とモジュールオプションにより試験コスト（COT）を低減

機能 — VIP Extended
D×W×H: 640 mm × 600 mm × 350 mm
DCS MP: 48 channels, ±80 V @ ±4 A
High Voltage Supply (std): 80 V / 250 A (48 sites)
Load Prog Module: 最大48チャネルの高電流 Sink/Source（最大250 A / 80 V）＋ TMU & 差動計測回路
デジタルチャネル: 最大320チャネル；最大64 PPMU
フローティングデジタルドライバ: 最大48、範囲 -5 V〜18 V
誘導性・抵抗性負荷: カスタムボード実装
LCR メータ: 最大48
ピコアンメータ: 最大48、電流範囲 2 nA–2 µA、精度 最大 ±20 pA
タイミング計測: 48チャネル TMU
追加機器: 最大64 PPMU、48ピコアンメータ、最大48 LCR、誘導/抵抗ロードボード
キャビネット: 生産ライン適合のコンパクトキャビネット（350 × 600 × 640 mm）

用途

• Wafer sort
• Strip test
• Pick & place 統合
• Gravity handler 環境
• 対象市場：自動車、コンシューマ、産業、航空宇宙、MEMS

仕様 / 技術データ

• 並列サイト数: 最大48
• 四象限 DC リソース: 最大48ユニット、±80 V、±4 A
• 高電圧供給（標準）: 80 V / 250 A（48サイト）
• 高電流 Sink/Source チャネル: 最大48チャネル、最大250 A / 80 V
• TMU: 48チャネル タイミング測定ユニット
• デジタルリソース: 最大320デジタルチャネル；2 M ベクトルパターンメモリ
• PPMU: 最大64 プログラマブルパラメトリック測定ユニット
• フローティングデジタルドライバ: 最大48、範囲 -5 V〜18 V
• LCR メータ: 最大48
• ピコアンメータ: 最大48、電流範囲 2 nA–2 µA、精度 最大 ±20 pA
• 誘導性・抵抗性負荷: カスタムボード実装
• キャビネット寸法: 350 × 600 × 640 mm（生産統合向けコンパクト）