温度試験装置 Celsius EVO

全自動半導体自動車産業用

製品概要
Celsius EVO は、高ダイナミック温度制御を備えた特性評価用ピックアンドプレースハンドラで、テスト中に DUT を +150°C まで加熱し、-45°C まで冷却できます。コンパクトな設計により、革新的な加熱技術と自動ビジュアル位置補正を統合し、個別 DUT ごとの高精度な温度制御、短いサイクルタイム、空調依存の低減を実現します。クリーンルームや Industry 4.0 の生産ラインに適合し、ATE ワークフローの自動化に対応します。

主な利点

• 小さな占有面積で高速処理を実現
• 高温動作を可能にする革新的な加熱技術
• 自動ビジュアル検査と位置補正
• 迅速な立ち上げ／冷却を実現する個別 DUT の高ダイナミック温度制御
• 作業空間全体の空調が不要
• 空調依存を減らし、時間とエネルギーを節約

仕様

• テストサイト数：4
• 圧縮空気：200 l/min @ 8 bar
• DUT 寸法（カスタマイズ可、チップボード対応）：最小 2×2 mm — 最大 30×30 mm
• キット：金属フレーム（プレコンディショニング）＋ピッカー（マルチサイトではパッケージ毎にピッカーが必要；シングルサイトは標準 S、M、L）。セットアップ変更に約 10 分
• 並列処理：最大 4（チェンジキット必要）
• 温度制御：3T ハンドラ、-45°C 〜 +150°C ±3°C
• テスタ接続：PTB 水平ドッキング
• 外形寸法（D×W×H）：1600 × 2100 × 2000 mm

詳細
本ハンドラは完全自動のピックアンドプレースワークフローをサポートし、各種 ATE システムと統合できます。自動車、産業、航空宇宙、医療分野向けの mixed‑signal、MEMS、パワーデバイス等の半導体デバイスを高速かつ高精度で特性評価するよう設計されています。個別 DUT の温度制御とビジュアル補正ループにより、機械的精度、熱均一性、試験効率およびスペース利用の最適化を実現します。

技術仕様

• モデル：Celsius EVO
• テストサイト数：4
• 並列性 / マルチサイト機能：最大 4
• 温度範囲と精度：-45°C 〜 +150°C、±3°C
• 個別 DUT の高速立ち上げ／冷却
• 圧縮空気要件：200 l/min @ 8 bar
• DUT サイズ（設定可能）：2×2 mm — 30×30 mm
• セットアップ変更時間：約 10 分
• テスタドッキング：PTB、水平
• 占有面積 / 寸法：1600 × 2100 × 2000 mm
• 機能：自動ビジュアル検査と位置補正；個別 DUT 温度制御；ATE 統合