ウェハー用コントロールモジュール VULCANO XYZ3TH

6 軸

ヴルカーノ島XYZ3THのプラットホームはZ3THによって結合されるモジュールによって準備されるヴルカーノ島の標準的なX-Yより構成されている。モジュールこの4つの自由度は、および±0.1°上の焦点の調節荷を積み、荷を下す、ウエファーに、364° Θの回転、二重Z軸、粗い1、また先端および傾きの訂正のための良い1を提供する。 特徴 - 密集した足跡 - ナノメーターの位置の安定性 - 高い原動力:2.5 g、1.5 m/s - 低い移動および演算時間 - 互換性があるISO1クリーン ルーム - ±0.1°上の先端傾きの訂正 - 二重Zの統合 - Zの作り付けの重力の補正器 - 顕著なZの直線性 - 高められたZの反復性およびジッター - 段階の平坦を訂正する能力 - チャックのレベルの作り付けの真空の供給