Pirani真空計 BPG402

デジタルディスプレイなし

BPG402 ATM 超高真空ゲージ INFICONベヤードアルパートピラニコンビネーションゲージBPG402-Sは、5×10-10mbarから大気（3.8×10-10 Torrから大気まで）までの2つのゲージとして機能します。 テクノロジーを組み合わせることで、インストール、セットアップ、統合の複雑さが軽減されます。 経済的なパッケージでベース圧力測定を行う手頃な価格で再現可能なプロセスのために、酸化イットリウムコーティングされたイリジウムフィラメントを2個搭載したBPG402-Sをお選びください。 オンボード較正データを備えたセンシング素子は、センサ交換時の高い再現性を保証します。 利点 5×10-10 mbarから大気（3.8×10-10 Torr）までの非常に広い測定範囲（大気間3.8×10-10 Torr）の プロセス圧力範囲で優れた再現性 5％ ピラニインターロックは、フィラメントを早期のバーンアウトから保護します。 2つの長寿命酸化イットリウムコーティングされたイリジウムフィラメント オプションのグラフィックディスプレイとフィールドバスインターフェースが利用可能 自動高真空ピラニ調整によりオペレータの介入を軽減 オンボード校正データでセンシングエレメントを交換しやすく、高い再現性を保証します RoHSコンプライアンス 典型的なアプリケーション 圧力測定半導体プロセスと転写室 産業用コーティング 全般真空測定と低～超高真空範囲の制御