自動貯蔵およびハンドリングシステム EUV

FabmaticsのEUVレチクル用ハンドリングシステムは、EUVレチクルハンドリングにおける信頼性と清浄度などの要件を満たします。 ハイエンドマイクロエレクトロニクス構造要素の製造に使用される特別な照明技術として、EUV技術はEUVレチクルをハンドリングする際の信頼性と清浄度に対して最高基準を設定しています。Fabmaticsのソリューションはこれらの基準に準拠しています。EUVレチクルのハンドリングシステムは、レチクルソーターなどのスタンドアロンデバイスとして、またローディングシステムなどの装置フロントモジュールとしてご利用いただけます。RSPポッドやデュアルポッド用のFabmaticsのロードポート、幅広い検出モジュール、グリッパー、フリップ装置はここでの重要なコンポーネントです。