掃除用溶媒

エッチング残渣用

Al、Cu、先端金属合金、反射防止層、SiO2、超低誘電率誘電体と互換性のある水性ポストエッチングクリーナー Al、Cu、および超低誘電率 BEOL プロセスと互換性のある、非常に効果的な水性ポストエッチングクリーナーです。 お客さまのプロセスニーズに最適なクリーナーの詳細については、お問い合わせください。 特長 プロセスの自由度が広い スプレーおよびバッチツールアプリケーションとの互換性 溶剤ベースのクリーナーに比べて運用コストが有利 - 直接超純水リンス リンス用化学品の追加コスト削減およびスループットの向上 安全で使いやすい 先端プロセス装置材料との互換性 優れた金属、ILD、ULK 互換性 製品の純度は、最先端の分析ツールを使用して継続的に検証される 米国およびアジアの工場で製造およびパッケージ化される エッチングの種類によりグレードが異なる 特定の製品は界面活性剤の有無に関わらず提供される さまざまなエッチングの種類については、「用途」を参照してください。 梱包オプション 4Lボトル×4本 200L ドラム缶（one-wayまたはリターナブル） 1000L トート（one-wayまたはリターナブル） バルク供給 (場所によって異なります) 詳細についてはお問い合わせください。