質量分析計 EQP series

四重極分析用

プラズマ研究用システム プラズマの特性評価のための高性能な質量・エネルギー複合型四重極型質量分析計。 EQP-6 300 amuまたは510 amuの質量範囲で、6 mm トリプルフィルター付き四重極型質量分析計で、幅広いプラズマ研究に対応します。 EQP-9 9mmトリプルフィルター四重極型質量分析計で、最も幅広い質量オプションを備えています。 高安定性測定やイオンクラスター分析のための50～5000amuのオプション。 EQP-20は、水素同位体プラズマの特性評価のために、ゾーンI/ゾーンHを0.003amuのピーク幅で20amuに切り替えることができるハイデンの20mmトリプルフィルター四重極と、単位質量分解能で200amuの質量範囲を備えています。 イオンやラジカルの分析 エッチング/デポジション研究 イオンインプランテーション レーザーアブレーション 残留ガス分析 リーク検出 プラズマ電極カップリング CVD/MOCVD/ALD Hidenのプラズマプローブは、主要なプラズマパラメータを測定し、プラズマ反応化学に関する詳細な情報を提供します。 プラズマイオンや中性種の反応速度を詳細に理解することは、HIPIMSのような高度な表面工学プロセスの開発において重要な役割を果たします。 また、電子衝突型イオン源を搭載しているため、中性粒子の分析に加え、電子アタッチメント質量分析計（EAMS）の電子アタッチメントモードを追加することで、電子負性ラジカル種の分離・同定が可能です。 高透過率の45°セクターフィールドエネルギーアナライザーは、1000eVまでの正負のイオンエネルギー分析が可能で、すべてのEQPシリーズの装置に搭載されています。