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自動検査機 / CD-SEM / 測定用
RecipeDirector

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自動検査機 自動検査機 - RecipeDirector
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特徴

  • 技術:

    自動, CD-SEM

  • その他の特徴:

    測定用

詳細

設計に基づく計測システムの製品ラインナップの紹介

レシピ監督:
設計データを活用したCD-SEMレシピ自動作成

DesignGauge-Analyzer(DG-A):リ
ソグラフィプロセスにおけるOPC 評価とパターン測定の最適化

機能
オフラインレシピ作成 ウエハとCD-SEMを使用せずに
測定点と方法を指定して自動レシピ作成
高品質レシピ (一貫性あり-オペレータのスキルに依存しない)
サーバー/クライアントスタイル

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)