ガス用圧力調整器 JR1000

膜一段ステンレス316L製

ガス圧力減圧弁 JR1000シリーズ（単段） 316L VIM VAR ステンレス鋼 — 電解研磨、金属対金属ダイヤフラム

製品概要と用途
Jewellok の JR1000 シリーズは、単段設計のガス圧力減圧弁で、高圧ガスボンベの圧力を半導体や太陽電池製造で使用される攻撃性・毒性・腐食性の特殊ガス（例：HCl、Cl2、NH3）に適した制御圧へ低減します。超高純度用途向けに、気密性、低内部容積、化学耐性を重視して設計されています。

主な技術特長

• VIM VAR 金属組織：不純物を低減し化学腐食や水素脆化への耐性を高めるため、二重溶解の SS 316L VAR より鍛造。
• 電解研磨された湿潤流路：内部湿潤面は一般に <5 μin Ra に電解研磨され、微小な水分ポケットやアウトガスを低減。
• 連結メタルダイヤフラム：ダイヤフラムが弁体に機械的に連結され、塩類や粒子による固着時でも確実に遮断し下流の過圧を防止。
• 金属対金属の気密シール：ボディシールはヘリウムリーク率 < 1×10-9 atm·cc/s を維持し、プロセス流から水分や酸素の侵入を防止。

設置および運用ガイドライン
規定されたクリーンルーム内でダブルシール包装を開梱・取り扱いしてください。統合型 VCR フェイスシール接続を用い、新しい金属ガスケットで取り付けてください。腐食性または毒性媒体導入前に窒素で完全にパージし、適切な試験ガスでリークを確認してください。定期的な点検・保守を実施し、圧力安定性と稼働率を維持してください。

JR1000 シリーズ
低〜中流量用途向けに設計された単段レギュレータで、化学的適合性と洗浄性が要求されるアプリケーションに適合します。

特長

• 本体材質：SS 316L または SS 316L VAR (VIM VAR、二重溶解)
• 金属対金属の連結ダイヤフラムシール
• 電解研磨された湿潤面、典型値 Ra < 5 μin
• 迅速なパージを可能にする最小化された内部容積
• 最大入口圧力：最大 3500 psig
• 流量係数 (Cv)：0.09 および 0.15
• 最大流量（標準）：30 SLPM；高流量（HF）：120 SLPM
• 高清浄度組立およびクリーンルーム包装
• 出荷前に個別のヘリウム漏れ試験実施
• 統合型 VCR フェイスシール接続（新しい金属ガスケットを使用）

技術データ
ヘリウムリーク率 < 1×10-9 atm·cc/s を達成する金属対金属の気密シール；電解研磨された湿潤面 <5 μin Ra；選択可能な Cv と公表された流量曲線により適切な選定が可能です。取り付けおよび選定のため、提供される寸法図および流量曲線を参照してください。

技術仕様

• モデル／シリーズ：JR1000 Series（単段）
• 本体材質：SS 316L または SS 316L VAR (VIM VAR、二重溶解)
• ダイヤフラムシール：金属対金属の連結ダイヤフラム
• 表面仕上げ（湿潤流路）：電解研磨、典型 Ra < 5 μin
• 気密リーク整合性：< 1×10-9 atm·cc/s（ヘリウム）
• 最大入口圧力：最大 3500 psig
• 流量係数 (Cv)：0.09 および 0.15
• 最大流量：標準 30 SLPM；高流量 120 SLPM
• 内部容積：迅速なパージのため最小化
• 想定媒体：攻撃性、毒性および腐食性の特殊ガス（例：HCl、Cl2、NH3）
• 試験：ヘリウム漏れ試験；高清浄度での組立およびクリーンルーム包装
• 接続：統合型 VCR フェイスシール接続（新しい金属ガスケットを使用）