ガス圧力調整器 JR1300

膜一段ステンレス316L製

超高純度ガスバルブ JR1300シリーズ 単段レギュレーター — 先端太陽電池ライン向けクリーンルーム認証品

概要
クリーンルーム認証を受けた超高純度ガスバルブの導入は、先端的な太陽電池製造ライン（TOPCon、HJT）において不可欠です。本製品は化学気相成長（CVD）や特殊ガス配管で使用され、設置時から流路を粒子、湿気、炭化水素から保護します。

主要な技術的利点

• 汚染防止：クリーンルームでの組立、脱イオン水による洗浄、超高純度窒素での乾燥、二重包装により、設置前に粒子、周囲湿気、炭化水素を除去します。
• 高度な冶金：二重真空溶解ステンレス（SS316L / SS316L VAR）で鍛造されたボディは、脱ガスを低減し、アンモニアやシランなどのプロセス薬液に対する耐食性を確保します。
• デッドボリューム最小化：内部形状を最適化し、閉じ込められたガス空間を排除。迅速なパージサイクルと確実なプロセス遷移を実現します。
• 気密シール：金属間ダイヤフラムによるシールはヘリウム漏れ率が1×10-9 atm cc/sec未満で、酸素浸入を防ぎます。

生産への戦略的影響
認証された超高純度ハードウェアを採用することで、予期せぬライン保守を減らし、セル内の少数担体寿命を保護し、24時間365日の継続稼働を支援してモジュール出力を最大化し、総所有コストを低減します。

JR1300シリーズ 単段レギュレーター
低～中流量用途に適合します。

特長

• ボディ材質：SS 316L、SS 316L VAR。
• 金属間ダイヤフラムシール。
• 内部電解研磨により、内部湿潤面の表面粗さを最大 Ra 5 μin まで実現。
• 迅速なパージを可能にする小さい内部容積。
• 最大入口圧力：600 psig。
• 流量係数（Cv）：1.1。
• 最大流量：1000 SLPM。
• 高清浄な組立・包装工程を実施；出荷前に全品ヘリウムリーク試験を実施。

技術データ
JR1300シリーズの製品図、寸法参照、流量曲線、発注表を提供します（寸法はミリメートル表記で参照用）。

技術仕様

• 組立：クリーンルーム組立、脱イオン水洗浄、超高純度窒素乾燥、二重包装。
• 材質：二重真空溶解ステンレス；SS316LおよびSS316L VARのバリエーションあり。
• シール：金属間ダイヤフラム（気密）。
• ヘリウム漏洩率：< 1×10-9 atm cc/sec。
• 内部仕上げ：湿潤面に対する電解研磨で Ra 5 μin まで。
• 内部容積：迅速なパージを可能にするゼロ／非常に低いデッドボリュームに最適化。
• 最大入口圧力：600 psig。
• 流量係数（Cv）：1.1。
• 最大流量：1000 SLPM。
• 想定用途：化学気相成長（CVD）および先端的な太陽電池製造ライン（TOPCon、HJT）向けの特殊ガス配布。
• 試験：出荷前に各ユニットはヘリウムリーク試験を実施。