ガス圧力調整器 DPR1

膜2段金属製

概要
DPR1シリーズは、半導体および高度な産業プロセスでの低流量の有毒・可燃・発火性ガス供給を想定した、小型の二段式高純度シリンダー減圧弁です。結合された畳み込み型の金属ダイヤフラムと金属対金属のダイヤフラム対本体シールにより、ガスの純度と拡散抑制を確保します。

特長

• 最大入口圧力：3000 psig / 207 bar
• 出口圧力範囲：0–25 psig、0–50 psig、0–100 psig、0–150 psig（0–1.7 bar、0–3.4 bar、0–6.9 bar、0–10.3 bar）
• 設計耐圧：定格最大圧の150％
• リーク：内部—バブルタイト（無漏洩）；外部—< 2 x 10-8 atm cc/sec He を満たす設計
• 使用温度：-40°F〜140°F / -40°C〜60°C
• 流量係数：Cv = 0.05
• 最大操作トルク：30 in‑lb / 3.4 N·m
• 入口圧低下特性：100 psigあたり0.06変動（6.9 barあたり0.004変動）

利点

• 結合された畳み込み型ダイヤフラムにより感度と制御精度が向上
• ダイヤフラムと本体の金属対金属シールで拡散を最小化
• キャプチャされたボンネットポートを備えたポジティブシール設計で信頼性を強化
• ダイヤフラム-バルブ連結によりシートシールの完全性が向上
• 入口圧変動に対して安定した出口（低い減衰特性）

追加オプション

• オプションの出口範囲：0–25 psi、0–50 psi、0–100 psi、0–150 psi

仕様

• モデル / シリーズ：DPR1 series
• 最大入口圧力：3000 psig / 207 bar
• 出口圧力範囲：0–25 psig（0–1.7 bar）、0–50 psig（0–3.4 bar）、0–100 psig（0–6.9 bar）、0–150 psig（0–10.3 bar）
• 設計耐圧：定格最大圧の150％
• リーク：内部—バブルタイト；外部—< 2 x 10-8 atm cc/sec He を満たす設計
• 使用温度範囲：-40°F〜140°F / -40°C〜60°C
• 流量係数 (Cv)：0.05
• 最大操作トルク：30 in‑lb / 3.4 N·m
• 入口圧低下特性：100 psigあたり0.06変動（6.9 barあたり0.004変動）