ガス用圧力調整弁 / 減圧弁 JR1000

膜一段ステンレス316L製

概要
JR1000シリーズは、半導体など高純度産業向けの低〜中流量用に設計された単段式UHP（超高純度）減圧レギュレータです。SS 316L材を採用し、金属対金属のダイヤフラムシールにより内部デッドボリュームを最小化し、最大入力圧力3500 psigに対応します。

特長

• 本体材質：SS 316L、SS 316L VAR。
• UHP対応の金属対金属ダイヤフラムシール。
• 内部は電解研磨仕上げ（表面粗さ Ra 5 μin まで）。
• 内部デッドボリュームを低減し、汚染・置換時間を抑制。
• 最大入力圧力：最大3500 psig。
• 流量係数（Cv）：0.09および0.15。
• 最大流量：標準 30 SLPM；ハイフロー（HF）120 SLPM。
• 半導体／高純度用途に適した高清浄組立および梱包。
• 出荷前に全ユニットでヘリウムリーク試験を実施。

技術データ
性能および選定用に流量曲線、寸法図、技術表が提供されています（製品ページの画像およびデータシートを参照してください）。

製品寸法
寸法はミリメートル表記で参考値です。設置やインターフェースには最新版の図面を確認してください。

仕様

• シリーズ：JR1000
• タイプ：単段式減圧レギュレータ
• 流量範囲：低～中流量
• 本体材質：SS 316L、SS 316L VAR
• ダイヤフラムシール：金属対金属
• 内部仕上げ：電解研磨（表面粗さ Ra 5 μin まで）
• 内部容量：小（デッドボリューム低減）
• 最大入力圧力：最大3500 psig
• 流量係数（Cv）：0.09および0.15
• 最大流量：標準 30 SLPM；ハイフロー（HF）120 SLPM
• 清浄度：半導体／高純度用途向け高清浄組立および梱包
• 品質管理：全ユニットにヘリウムリーク試験を実施