ダイヤフラム式バルブ HD

空圧式流量調整用絶縁

空気式ダイアフラムバルブ HD Series — 316L ステンレス鋼、高純度、高圧 実験室用特殊ガス向け

製品の用途と目的
HD Series の空気式ダイアフラムバルブは、高純度実験室用ガスシステムにおける自動流量制御および遮断を提供します。半導体、分析、研究分野向けに設計されており、可燃性・有毒・不活性などの高圧特殊ガスを管理し、安全インターロックへのリモート統合を可能にします。

主要技術特徴

• 高圧用材質: 316L VIM‑VAR ステンレス鋼製ボディで、構成により最大約3,000 psigまでの使用圧力に対応。
• 高純度表面仕上げ: 湿潤流路を Ra 10 μin 以下（典型的に Ra 5 μin まで）に精密仕上げし、粒子発生と水分残留を低減。
• 気密ダイアフラムシール: 金属対金属ダイアフラムによりエラストマーシールを排除し、ヘリウムリーク率 1×10-9 atm cc/sec 未満を実現。
• 空気式自動化: 通常閉（NC）または通常開（NO）仕様を選択可能。計装エア駆動のアクチュエータにより速い無火花サイクルを実現。

取り付けと安全上の注意
清浄環境で取り扱い・設置してください。VCR フェイスシールまたは突合せ溶接接続を使用し、新しいガスケットを装着してください。指定のパイロット圧でクリーンかつ乾燥した計装用空気を供給してください。作動ガス導入前にヘリウムリーク試験と窒素パージを実施してください。

HD SERIES
高圧空気式ダイアフラムバルブ

特徴
ボディ

• 超高純度用途向けの316L VIM‑VAR ステンレス鋼ボディ。
• 内面仕上げは Ra 5 μin まで実現可能で、流路は完全に洗浄可能。
• 死腔を最小化し、パージ性を向上、流量能力を最大化。

ダイアフラム

• Hastelloy C‑22 またはコバルト系スーパーアロイ（UNS R30003）を選択可能で、強度と耐食性を確保。
• 長寿命サイクル向けの最適化設計。

シート

• 完全封入型 PCTFE シートは膨潤と汚染に強く、ヘリウムリーク性能を向上させ、粒子発生を抑制。
• 半導体業界の要求に適合した高清浄度組立て・梱包。
• 出荷前に各ユニットでヘリウム試験を実施。

技術データ
ミリメートル表示の寸法は参考値であり、構成により変わる場合があります。

注文情報
標準構成は NC/NO 空気式アクチュエータ、VCR フェイスシールまたは突合せ溶接接続、ダイアフラム/シート材質の選択肢などです。製品ページの注文表をご参照ください。

技術仕様

• ボディ材質: 316L ステンレス鋼 (VIM‑VAR)
• 最大使用圧力: 構成により最大約3,000 psig
• 内面仕上げ: Ra 5 μin まで（通常 Ra ≤ 10 μin の湿潤流路）
• リーク性能: ヘリウムリーク率 < 1×10-9 atm cc/sec（メタル‑トゥ‑メタルダイアフラム）
• ダイアフラム材質: Hastelloy C‑22 またはコバルト系スーパーアロイ (UNS R30003)
• シート材質: 完全封入型 PCTFE
• 駆動方式: 空気式アクチュエータ; NC または NO を選択可能
• 接続: 統合 VCR フェイスシール または 突合せ溶接
• 清浄度: 高清浄組立て・梱包; 各ユニットでヘリウム試験を実施
• 適用分野: 実験室用特殊ガス、半導体・分析用ガスシステム、ガスクロマトグラフィー、研究機関