ダイヤフラム式バルブ LD

空圧式手動式絶縁

製品概要
Jewellok LD SERIES の 316L VIM‑VAR ステンレス製超高純度ダイヤフラムバルブは、半導体ガス配管システム向けの流体遮断を提供します。クリーンルーム用途に設計され、バルブマニホールドボックス、ガスキャビネット、ポイントオブユース接続で特殊ガス、危険ガス、腐食性ガスを無汚染で制御します。

主要技術

• VIM‑VAR 金属学：二重真空溶解・鍛造による 316L ステンレスで非金属介在物を低減し、耐食性向上と水素脆化リスクの低減を図ります。
• 電解研磨されたウェット経路：内部流路を電解研磨して超滑らかな仕上げ（< 5 μin Ra）とし、粒子付着を抑制し迅速なパージを可能にします。
• 密閉型ダイヤフラムシール：ソフトエラストマーを使用しない高耐久合金の金属対金属シールで、ヘリウムマススペクトロメータ試験で漏れ率 < 1×10-9 atm·cc/s を達成します。
• デッドボリュームゼロ：内部設計を最適化し仮想リークや流体の滞留を防止、サブミクロンウエハ工程を微量不純物から保護します。

設置および安全手順
バルブはクリーンルーム取扱いのため二重包装されています。認定クリーン環境でのみ設置してください。流れの矢印に合わせて本体を配置し、金属ガスケット付きの VCR フェースシール継手で接続します。毒性または発火性媒体導入前にヘリウムリーク試験および窒素パージを実施してください。定期点検で空気圧式または手動作動の性能を確認してください。

LD SERIES — 低圧手動ダイヤフラムバルブ
特長

• 本体：超高純度用途に適した 316L VIM‑VAR ステンレス、本体内面粗さ < 5 μin Ra、滞留箇所を最小化する設計によりパージ性と流量を最適化。

ダイヤフラム

• 高強度・耐食性を持つ Hastelloy C‑22 またはコバルト系スーパーアロイ（UNS R30003）を採用し、長寿命化を図っています。

シート

• 膨潤や汚染に強い完全囲い型 PCTFE シートは粒子発生を抑制しヘリウムリーク性能を向上させます。組立・梱包は高清浄度手順に従って行います。
• 出荷前にすべての製品でヘリウムリーク試験を実施します。

技術データ
参照用の寸法図および流路図を提供します（寸法はミリメートル、予告なく変更される場合があります）。

流路形状
デッドボリュームを低減しパージ効率を向上させる最適化された流路形状。

発注情報
標準発注仕様とモデル構成を用意しています。オプションについては発注表または製品ドキュメントを参照してください。

技術仕様

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups