アイリスバルブ HD

空圧式パージ制御

概要

• HD SERIES は超高純度用途向けに設計された高圧空圧ダイヤフラムバルブで、半導体、研究所、その他のハイテク産業に適しています。

特徴

• 汚染や滞留領域を最小化する超高純度設計。
• 完全な洗浄・パージを可能にし、流量を最大化する最適化された流路。
• 半導体向けの高清浄度での組立および梱包。
• 出荷前に全製品をヘリウムリーク試験で検査。

本体

• 材質：超高純度用途向けの316L VIM‑VAR ステンレス。
• 内面粗さは Ra 5 μin まで可能で、流路の完全な洗浄を可能にします。
• 設計は滞留領域を最小化し、パージを容易にし、流量を最大化します。

ダイヤフラム

• 材質オプション：Hastelloy C‑22 またはコバルト系スーパー合金（UNS R30003）、耐力と耐食性を確保。
• 長寿命サイクルを考慮した最適化設計。

シート

• PCTFE 完全封入シート設計により、膨潤および汚染に対する優れた耐性を提供。
• ヘリウムリーク試験性能が改善され、粒子発生が最小限。
• 長寿命サイクルを意図した設計。

技術データ
技術図面および寸法図は製品ページに掲載されています。寸法はミリメートル表記で参考値であり、変更される場合があります。

製品寸法
寸法はミリメートルで示され、参考用であり変更される場合があります。

注文情報
標準の注文仕様およびモデルオプションを提示しています（注文の詳細は製品ページの資料および画像でご確認ください）。

仕様

• シリーズ：HD SERIES
• 本体材質：316L VIM‑VAR ステンレス
• 内面粗さ：最大 Ra 5 μin
• ダイヤフラム材質：Hastelloy C‑22 またはコバルト系スーパー合金（UNS R30003）
• シート材質/設計：PCTFE 完全封入シート
• 清浄度：半導体用途向けの高清浄度での組立および梱包
• 試験：各ユニットに対してヘリウムリーク試験を実施
• 用途：半導体、研究所用特殊ガス、産業用ガス配分およびその他の高純度ガスシステム