ダイヤフラム式バルブ

空圧式調整ガス用

超高純度用ダイヤフラムバルブ
低圧シール 空気圧ダイヤフラムバルブ

特長
本体

• 超高純度用途向けの316L VIM‑VARステンレス鋼製本体。
• 内面粗さはRa 5 µinまで可能；流路は完全に洗浄可能。
• 閉塞箇所を最小化する設計によりパージが容易で、流量容量を最大化。

ダイヤフラム

• 耐力と耐食性に優れたHastelloy C‑22またはコバルト系超合金（UNS R30003）製。
• 長いサイクル寿命を実現する最適設計。

シート

• 膨潤や汚染に強い完全封入型PCTFEシート設計。
• ヘリウムリーク試験性能の向上。
• 微粒子発生が最小で長寿命。

追加製品属性

• 高純度半導体産業向けの高清浄度組立および梱包対応。
• 出荷前にすべての製品がヘリウム試験を受けます。

技術データ
技術図および寸法図は参考用に提供されています（ミリメートル表示の寸法は参考値であり変更される場合があります）。

製品サイズ
製品図に示された寸法はモデルにより異なります。正確な寸法は注文仕様または製品図をご確認ください。

流路形状
流路の形状は閉塞箇所を最小化し流量容量を最大化するよう最適化されています。詳細は流路図を参照してください。

注文情報
標準の注文仕様およびモデル図を提供しています。カスタム仕様およびモデルは注文情報に示すとおり利用可能です。