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高圧ガス貯蔵装置 JW-300-BSGS
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特徴
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詳細
製品概要
Jewellokは全自動および半自動のGCガスキャビネット、BSGSガスキャビネット、VMB/TMAガスキャビネット、スクラバー排ガス処理キャビネット、ガス分配キャビネット、VDBおよびVDPキャビネットを専門に提供しており、SiH4、NF3、NH3、N2O、HClなどの特殊ガスに対応しています。
用途
Bulk Specialty Gas Systems（BSGS）は、半導体製造、医薬品、化学処理などの産業で高純度の特殊ガスを供給するために重要です。これらのシステムは、専用のキャビネットと排気処理装置を通じて、使用点までの安全で効率的かつ汚染のないガス供給を実現します。
ガスキャビネット
ガスキャビネットは、敏感なプロセスで使用される高純度特殊ガスの保管と供給を目的に設計された筐体です。主な機能は、自動遮断弁、漏洩検知センサー、換気システム、高品質材料（例：ステンレス鋼）、汚染防止のための高度なろ過、圧力・流量・純度を監視する自動制御システムなどです。キャビネットには、防爆ドアや観察窓、漏洩警報、遠隔遮断、負圧警報、自動パージおよび換気切替といった安全機構が組み込まれています。
スクラバー排ガス処理キャビネット
スクラバー排ガス処理キャビネットは、BSGSからの排気ガスを管理し、放出前に有毒、腐食性、または環境に有害な副生成物を無害化または除去します。湿式スクラバーは液体溶液を用いて酸性または反応性ガスを捕捉・中和します。乾式スクラバーは化学媒体を使用して有害化合物を吸着または反応させます。高度な設計ではリアルタイム監視を用いて効率を最適化し、環境規制への準拠を支援します。
システム連携
BSGSガスキャビネットとスクラバー排ガス処理キャビネットは連動して高純度ガスを安全かつ持続的に供給します。統合された監視・制御により、重要な産業用途での運用効率、安全性、環境コンプライアンスを確保します。
技術データ
Model: JW-300-BSGS
仕様: W800×D633×H2172
特殊ガスキャビネット寸法: 制御電源: 220VAC, 50Hz, 500W；加熱電源: 220VAC, 50Hz, 1–6KW（装着時）
制御盤接続: PN2, 1/4" MVCJ
パージ接続: HPN2, 1/4" MVCJ
高圧保持接続: GN2, 1/4" MVCJ
真空接続: 1/2" MVCJ
VENT排水配管駆動: CDA driver, 1/4" SWG
空気源能力（圧縮空気）: OD 150MM；シラン 810 m3/hr；その他ガス 204 m3/hr
キャビネット換気・安全機能: 自動切替・自動パージ、離脱防止および防爆設計、自動ロック式防爆ドア、防爆観察窓、漏洩警報、遠隔遮断、負圧警報
操作インターフェース: 10インチカラータッチスクリーン
オプション
技術仕様
Jewellokは全自動および半自動のGCガスキャビネット、BSGSガスキャビネット、VMB/TMAガスキャビネット、スクラバー排ガス処理キャビネット、ガス分配キャビネット、VDBおよびVDPキャビネットを専門に提供しており、SiH4、NF3、NH3、N2O、HClなどの特殊ガスに対応しています。
用途
Bulk Specialty Gas Systems（BSGS）は、半導体製造、医薬品、化学処理などの産業で高純度の特殊ガスを供給するために重要です。これらのシステムは、専用のキャビネットと排気処理装置を通じて、使用点までの安全で効率的かつ汚染のないガス供給を実現します。
ガスキャビネット
ガスキャビネットは、敏感なプロセスで使用される高純度特殊ガスの保管と供給を目的に設計された筐体です。主な機能は、自動遮断弁、漏洩検知センサー、換気システム、高品質材料（例：ステンレス鋼）、汚染防止のための高度なろ過、圧力・流量・純度を監視する自動制御システムなどです。キャビネットには、防爆ドアや観察窓、漏洩警報、遠隔遮断、負圧警報、自動パージおよび換気切替といった安全機構が組み込まれています。
スクラバー排ガス処理キャビネット
スクラバー排ガス処理キャビネットは、BSGSからの排気ガスを管理し、放出前に有毒、腐食性、または環境に有害な副生成物を無害化または除去します。湿式スクラバーは液体溶液を用いて酸性または反応性ガスを捕捉・中和します。乾式スクラバーは化学媒体を使用して有害化合物を吸着または反応させます。高度な設計ではリアルタイム監視を用いて効率を最適化し、環境規制への準拠を支援します。
システム連携
BSGSガスキャビネットとスクラバー排ガス処理キャビネットは連動して高純度ガスを安全かつ持続的に供給します。統合された監視・制御により、重要な産業用途での運用効率、安全性、環境コンプライアンスを確保します。
技術データ
Model: JW-300-BSGS
仕様: W800×D633×H2172
特殊ガスキャビネット寸法: 制御電源: 220VAC, 50Hz, 500W；加熱電源: 220VAC, 50Hz, 1–6KW（装着時）
制御盤接続: PN2, 1/4" MVCJ
パージ接続: HPN2, 1/4" MVCJ
高圧保持接続: GN2, 1/4" MVCJ
真空接続: 1/2" MVCJ
VENT排水配管駆動: CDA driver, 1/4" SWG
空気源能力（圧縮空気）: OD 150MM；シラン 810 m3/hr；その他ガス 204 m3/hr
キャビネット換気・安全機能: 自動切替・自動パージ、離脱防止および防爆設計、自動ロック式防爆ドア、防爆観察窓、漏洩警報、遠隔遮断、負圧警報
操作インターフェース: 10インチカラータッチスクリーン
オプション
- UV/IR 炎検出器
- Cylinder Shutboy
- パネル加熱
- Ethernet 通信モジュール
- 計量スケール
- 過流量スイッチ
技術仕様
- Model: JW-300-BSGS
- キャビネット外形寸法: W800 × D633 × H2172
- 制御電源: 220VAC, 50Hz, 500W
- 加熱電源（装着時）: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
- 制御盤接続: PN2, 1/4" MVCJ
- パージ接続: HPN2, 1/4" MVCJ
- 高圧保持接続: GN2, 1/4" MVCJ
- 真空接続: 1/2" MVCJ
- VENT排水駆動: CDA driver, 1/4" SWG
- 空気源能力: OD 150MM；シラン 810 m3/hr；その他ガス 204 m3/hr
- 換気および安全機能: 自動切替・自動パージ、防爆ドアおよび観察窓、漏洩警報、遠隔遮断、負圧警報
- オペレータ画面: 10インチカラータッチスクリーン
- 標準適合ガス: SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl およびその他の特殊プロセスガス
