高容量工業用流体輸送向け PLC 制御付き自動バルク薬液供給システム (BCDS)BCDS は、半導体ファブや EV 電池工場などの大量生産環境に対し、高容量で連続的な薬液供給を提供します。本システムは日々大量のプロセス薬液を輸送し、PLC ベースの自動化と冗長ポンプ構成により使用箇所への脈動のない供給を実現します。
PLC 自動化と運用制御統合 PLC は流量、配管圧力、タンクレベルを監視し、ポンプ速度をリアルタイムで調整して安定供給を維持します。レシピ制御による注入、自動ドラム切替、タッチスクリーン HMI による状態・設定・アラーム管理をサポートし、手動操作と汚染リスクを低減します。
安全性、材料、純度PLC ロジックには自動漏洩検知、迅速な非常停止、マニホールド隔離が含まれます。揮発性溶剤には窒素ブランキングが制御されます。ウェットパーツは電解研磨された 316L ステンレス鋼および必要箇所は PFA を採用し、超高純度要件に対応します。
技術データModel: JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
特殊ガスキャビネット寸法: W2200*D1500*H2000(ダブルドラム) / W2990*D2100*H2000(ダブルドラム)
制御盤電源: 220VAC, 50HZ, 0.5~3KW, 漏電保護
パージ: PN2, SS316 1/2"SWG
超純水: UPW, JIS 16A 結合
圧縮空気: CDA, SS316 1/2"SWG
廃液排出口: ドレイン, PP DN20 Fusion Socket / ドレイン, PP DN25 Fusion Socket
標準装備: PP シェル + 透明 PVC 観察窓 + PFA 内部配管バルブ、窒素パージ、サンプリング、全自動酸供給、左右ドラム自動切替;ポンプ本体は常用2系統+1系統予備構成;ドラム液面による自動供給切替;タッチスクリーン HMI はバルブおよび配管供給状態を表示;自動供給遮断、早期警報およびアラーム;マルチセーフティ自己チェックと確認;多言語対応;複数信号入力、コードスキャナ、高効率フィルタ、ドアセンサー(オプション)対応。
取扱い特殊化学薬品- HF – フッ化水素酸
- HCL – 塩酸
- H2O2 – 過酸化水素
- KOH – 水酸化カリウム
- HNO3 – 硝酸
- NH4OH – 水酸化アンモニウム
- H2SO4 – 硫酸
CDM および CDS の適用分野- 半導体
- 太陽光発電(フォトボルタイク)
- ソーラーエネルギー
- 液晶パネル
- 光ファイバー
- その他の生産分野
CDM および CDS の機能- 化学処理のろ過
- 化学薬品のサンプリング
- 化学薬品の循環
- 化学薬品の供給
特徴 / 技術仕様- Models: JW-200L-CDM; JW-1000L-CDM
- キャビネット寸法(例): W2200 × D1500 × H2000(ダブルドラム);W2990 × D2100 × H2000(ダブルドラム)
- 制御盤電源: 220 VAC, 50 Hz, 0.5–3 kW 漏電保護付き
- パージガス: PN2、SS316 1/2" SWG 配管
- 超純水接続: UPW, JIS 16A 結合
- 圧縮空気: CDA、SS316 1/2" SWG 経由
- 廃液排出口オプション: PP DN20 または DN25 フュージョンソケット ドレイン
- ウェットマテリアル: 電解研磨 316L ステンレス鋼および指定箇所の PFA 内配管
- 標準機能: 窒素パージ、サンプリング、自動酸供給、自動ドラム切替、冗長ポンプ構成、タッチスクリーン HMI、自動漏洩検知と非常停止、多言語 HMI、複数信号入力、オプションのコードスキャナ、高効率フィルタおよびドアセンサ
- 運用能力: 流量・圧力・タンクレベルの連続監視と調整;CDM におけるレシピ制御の混合/希釈;個別支線の保守時に設備供給を停止せずにサービス可能な VMB(バルブマニホールドボックス)での分離
- 安全プロトコル: 非接触レベル検出、二次収容、 自動遮断およびアラームロジック、有機溶剤用窒素ブランキング