ドージングステーション JW-300-LDS

危険なエッチャントおよび揮発性有機溶媒用カスタム化学供給システム（CDS）エンジニアリング
危険なエッチャントや揮発性有機溶媒を扱う際、安全性と材料適合性は設備設計の不可欠な基礎です。カスタム化学供給システム（CDS）はこれらの高リスク流体を管理するために設計され、バルク保管から生産装置への輸送を、作業者の安全性や環境の完全性を損なうことなく実現します。

材料および汚染管理
フッ化水素（HF）などの腐食性の高い酸には、腐食や金属イオンの溶出を防ぐためにPFA内面ライニング配管や高級316L電解研磨ステンレスが一般的に使用されます。システムはUHP（parts-per-trillion）要件に対応するよう316L電解研磨材と5Ra表面仕上げで構成され、粒子発生を最小化し流体経路全体で化学的惰性を確保します。

安全、オートメーションおよび封じ込め
カスタムJewellok CDSの知能は自動化された安全インフラにあります。すべてのシステムに二次封じ込め（パイプインパイプまたはキャビネットインキャビネット）と高感度漏洩検知が備わっています。集中型PLC（Programmable Logic Controller）で管理され、漏洩や圧力異常を検知した場合には空気圧バルブの即時自動遮断を実行できます。揮発性溶媒向けの窒素ブランキング、自動漏洩検知、耐爆性キャビネットオプション、多段階のインターロックなどが追加の安全対策です。

技術データ

• モデル — JW-300-LDS
• 特別ガスキャビネット寸法 — W1900*D800*H2100
• 制御盤電源 — 制御電源: 220VAC, 50Hz, 500W; 加熱: 220VAC, 50Hz, 1-6KW
• パージ — PN2, 1/4" MVCJ
• 高圧保持 — GN2 1/4" MVCJ
• 真空 — 1/2" MVCJ
• VENT 排水管 — CDA driver, 1/4" SWG
• 空気源（空気供給）— OD 150MM, silane 810 m3/hr; その他 204 m3/hr
• キャビネット換気 — OD 150MM, silane 810 m3/hr; その他 204 m3/hr
• 標準装備 — 自動切替、自動パージ、防爆・耐脱落キャビネット、耐爆自動ロックドア、防爆観察窓、漏洩アラーム、遠隔遮断、負圧アラーム
• 操作インターフェース — 10" カラータッチスクリーン

オプション

• UV/IR 火炎検出器
• シリンダー加熱
• パネル加熱
• Ethernet 通信モジュール
• 重量計（スケール）
• 過流スイッチ（Excess Flow Switch）
• 煙検知スイッチ

用途

• 半導体
• 太陽光（フォトボルタイク）
• ソーラーエネルギー
• 液晶パネル
• 光ファイバー
• その他の生産分野

取り扱い化学薬品

• HF - フッ化水素酸（Hydrofluoric acid）
• HCL - 塩酸（Hydrochloric acid）
• H2O2 - 過酸化水素（Hydrogen Peroxide）
• KOH - 水酸化カリウム（Potassium Hydroxide）
• HNO3 - 硝酸（Nitric acid）
• NH4OH - 水酸化アンモニウム（Ammonium Hydroxide）
• H2SO4 - 硫酸（Sulfuric acid）

機能

• 液体化学物質のろ過
• 液体化学物質のサンプリング
• 液体化学物質の循環
• 液体化学物質の供給／配布

追加製品情報
製品にはポイントオブユースでの混合・希釈用のChemical Delivery Modules (CDM) と、大規模配布向けのバルクCDSソリューションが含まれます。システムはUHPダイヤフラムバルブ（メタル・トゥ・メタルシール）とPLC制御のオートメーションを統合し、レシピ管理と予知保全を可能にして稼働停止時間を削減し、>99.9%の稼働率を目指します。

仕様 / 技術仕様

• モデル: JW-300-LDS
• ガスキャビネット寸法: W1900*D800*H2100
• 制御電源: 220VAC, 50Hz, 500W; 加熱: 220VAC, 50Hz, 1-6KW
• パージ: PN2, 1/4" MVCJ
• 高圧保持: GN2 1/4" MVCJ
• 真空: 1/2" MVCJ
• VENT 排水: CDA driver, 1/4" SWG
• 空気源 & 換気: OD 150MM, silane 810 m3/hr; その他 204 m3/hr
• 操作インターフェース: 10" カラータッチスクリーン
• 標準装備: 自動切替、自動パージ、防爆キャビネット設計、漏洩アラーム、遠隔遮断、負圧アラーム
• オプション機能: 火炎検出器、加熱オプション、Ethernet モジュール、秤、過流スイッチ、煙検知
• 材料・仕上げ: 316L 電解研磨ステンレス、UHP用 5Ra 表面仕上げ