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ドージングステーション JW-300-LDS CDS
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詳細
概要
液体供給モジュール（CDM）JW-300-LDS CDS は、半導体製造で使用される強いエッチング剤や研磨性スラリーの取り扱いを目的とした Ultra-High Purity（UHP）ダイヤフラムバルブを中核とするシステムです。バルブの適正選定、監視、保守は汚染・粒子発生・予期せぬダウンタイムの防止に不可欠です。
保守および設計上の推奨
プロセス流体をアクチュエータから隔離しデッドボリュームを排除する金属対金属シールの UHP ダイヤフラムバルブを選定してください。CDM の PLC を用いた予知保全を導入し、バルブのサイクル数とマニホールドの圧力差を監視して、破損や漏れの前に膜の劣化を検出します。シート上の化学結晶化を防ぐために脱イオン水によるフラッシング手順を確立し、摩耗部品はリークを待たず計画停止時に交換して ppt（parts‑per‑trillion）レベルの純度を維持しモジュール寿命を延ばしてください。
技術データ
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen
オプション
用途
取り扱い化学薬品（代表）
機能
構造と性能に関する注意
濡れ面は 316L 電解研磨ステンレスを採用し、表面仕上げ 5Ra により粒子発生を最小化し化学的耐性を確保しています。独自の UHP ダイヤフラムバルブは金属対金属シールを備え、PLC による自動化でレシピ管理と予知保全を実現します。二次的な封じ込め、窒素ブランキング、自動漏洩検知など多層の安全対策により、作業者と歩留まりを保護します。
技術仕様
液体供給モジュール（CDM）JW-300-LDS CDS は、半導体製造で使用される強いエッチング剤や研磨性スラリーの取り扱いを目的とした Ultra-High Purity（UHP）ダイヤフラムバルブを中核とするシステムです。バルブの適正選定、監視、保守は汚染・粒子発生・予期せぬダウンタイムの防止に不可欠です。
保守および設計上の推奨
プロセス流体をアクチュエータから隔離しデッドボリュームを排除する金属対金属シールの UHP ダイヤフラムバルブを選定してください。CDM の PLC を用いた予知保全を導入し、バルブのサイクル数とマニホールドの圧力差を監視して、破損や漏れの前に膜の劣化を検出します。シート上の化学結晶化を防ぐために脱イオン水によるフラッシング手順を確立し、摩耗部品はリークを待たず計画停止時に交換して ppt（parts‑per‑trillion）レベルの純度を維持しモジュール寿命を延ばしてください。
技術データ
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen
オプション
- UV/IR 火炎検出器
- シリンダー加熱
- パネル加熱
- Ethernet 通信モジュール
- 重量計
- 過流スイッチ
- 煙感知スイッチ
用途
- 半導体
- 太陽光（フォトボルタイク）
- ソーラーエネルギー
- 液晶パネル
- 光ファイバー
- その他の生産分野
取り扱い化学薬品（代表）
- HF - フッ化水素酸
- HCL - 塩酸
- H2O2 - 過酸化水素
- KOH - 水酸化カリウム
- HNO3 - 硝酸
- NH4OH - 水酸化アンモニウム
- H2SO4 - 硫酸
機能
- 液体化学薬品のろ過
- 液体化学薬品のサンプリング
- 液体化学薬品の循環
- 液体化学薬品の供給・配送
構造と性能に関する注意
濡れ面は 316L 電解研磨ステンレスを採用し、表面仕上げ 5Ra により粒子発生を最小化し化学的耐性を確保しています。独自の UHP ダイヤフラムバルブは金属対金属シールを備え、PLC による自動化でレシピ管理と予知保全を実現します。二次的な封じ込め、窒素ブランキング、自動漏洩検知など多層の安全対策により、作業者と歩留まりを保護します。
技術仕様
- Model: JW-300-LDS CDS
- キャビネット寸法: W1900 × D800 × H2100
- 制御電源: 220VAC, 50Hz, 500W; 加熱電源: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
- パージガス: PN2, 1/4" MVCJ
- 高圧保持: GN2, 1/4" MVCJ
- 真空接続: 1/2" MVCJ
- VENT 排水管: CDA driver, 1/4" SWG
- 空気源能力: OD 150mm; シラン 810 m³/hr; その他 204 m³/hr
- キャビネット換気能力: OD 150mm; シラン 810 m³/hr; その他 204 m³/hr
- 操作インターフェース: 10" カラータッチスクリーン
- 標準安全/装備: 自動切替、自動パージ、防爆キャビネット・ドア、防爆自己ロックドア、防爆ガラス観察窓、漏洩アラーム、遠隔遮断、負圧アラーム
- 材質・仕上げ: 316L 電解研磨ステンレス、5Ra 表面仕上げ
- 主要機能: ろ過、サンプリング、循環、液体特殊化学薬品の供給
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