スカラロボット IWH series
ウェハー運搬用

スカラロボット
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特徴

タイプ
スカラ
機能
ウェハー運搬用
最大可搬質量

最少: 0 kg (0 lb)

最大: 3 kg (6.614 lb)

可動域

10 in, 13 in, 17 in, 21 in

繰り返し性

0.02 mm (0.0008 in)

詳細

2リンクヘ ビーデューティアームと標準ボディSKUIWHシリーズ1-2HDArm 納期 6 週間 優れた構造剛性の 最大の信頼性と精度 トップマウント(TA)またはボトムマウント(BA)バージョン利用可能な カスタマイズされたデザイン ISO 1クリーンルーム環境互換性 ドイツ製。

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カタログ

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。