プリアライメント・ モジュール

一軸Logosolプリアライナー "Embedded" 説明 Logosolプリアライナーは、スキャンエレクトロニクスを統合した革新的な高精度、クラス1互換のLogosolプリアライナー・ソリューションです。 Logosol プリアライナーは、Logosol, Inc.の専有製品です。米国 www.logosolinc.com 特徴 アライメントタイム＜2.5秒 LEDとCCDセンサーによる非接触計測 統合走査型電子回路 チャックロード リビルドなしで他のウェハサイズに変更する 透明、半透明、穴あき、不透明ウェーハのアライメントが可能です。 オール、フラット、ノッチウェハー仕様 3インチから12インチまでのウェハサイズに対応 接続パネルが側面と下面から利用可能