ゴニオメーターナノ位置決めステージ FBG Series

傾斜圧電2軸

ナノモーションFBGシリーズのゴニオメータステージは、ステージ上のピボット軸に沿って傾斜可動させます。ステージ設計は、２軸をまとめて共通ピボット軸に沿って傾斜させることを可能にしています。 ゴニオメータステージは、曲面上のテープ目盛りの他に、ダイレクト光学エンコーダを採用し、最高1アーク秒の分解能を実現しています。