リニアポジショニングステージ FB Series

圧電多軸精密

ナノモーションFBシリーズのリニアステージは、高精度直線モーションの最小面積を実現しています。ダイレクトドライブモータによるシンプルで頑丈な構造のこのFBステージは、幅広い可動距離、トラベル、モータサイズで多軸に容易に適応し、最高10nm迄の分解能の光学エンコーダ内蔵が可能です。