光学式検査機 29xx series

パターン付きウエハエレクトロニクス産業用欠陥

29xx 広帯域プラズマパターンウェハ欠陥検査装置 295xシリーズ広帯域プラズマ欠陥検査装置は、光学式欠陥検査を進化させ、7nm以下のロジックや最先端のメモリ設計ノードにおける歩留まり重視の欠陥の検出を可能にしました。2950および2955広帯域プラズマ欠陥検査装置は、強化された広帯域プラズマ照明技術、新しいピクセルポイント™およびナノセル™設計認識技術により、さまざまなプロセス層、材料タイプ、プロセススタックで重要な欠陥を捉えるのに必要な感度を備えています。インラインモニタリングの業界標準である295xシリーズは、感度と光学式ウェーハ欠陥検査速度を組み合わせ、Discovery at the Speed of Light™を実現します。 用途 欠陥検出、ホットスポット検出、プロセスデバッグ、エンジニアリング分析、ラインモニタリング、プロセスウィンドウ検出