温度測定システム WetTemp series

ウェハー用

ウェットプロセス用ウェーハ温度（15°～140°C）測定機 WetTemp in situ ウェーハ温度測定システムは、300mmと200mmの両方の構成があり、ウェットクリーンやその他のウェットプロセスのモニターをサポートします。WetTempシリーズのモニターウェーハは、ほとんどの枚葉式ウェットクリーンプロセスシステムと互換性があり、エンジニアがウェットクリーンツールの認定、ウェットクリーンプロセスの最適化、ウェットクリーンシステム性能の向上を推進するのに役立ちます。 用途 プロセス開発、プロセス評価、プロセスツール監視、プロセスツール評価、プロセスツールマッチング 関連製品 WetTemp-HR 65個の温度センサーを9つの同心円状に配置したウェーハ温度モニターです。ウェーハ表面のカバー率が向上し、ウェーハ全体の空間的な温度データを豊富に提供します。ウェーハ厚さ1.2mmのウェーハを使用したウェットプロセスに対応します。 WetTemp-LP 5つの同心円状に配置された65個の温度センサーを搭載し、147mmエリアに偏った密度でウェーハの温度をモニタリングします。ウェーハ厚さ0.775mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応します。 WetTemp ウェーハ温度モニター。65個の温度センサーを5つの同心円状に配置し、147mmエリアに偏った密度で配置しています。ウェーハ厚さ1.2mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応します。