製品概要Malema MPS-450 シリーズは、半導体などの高純度プロセス向けに精度の高い圧力監視を提供します。PFA、PTFE、FFKM の非金属流体接触部により汚染を防止します。シングルポートおよびインライン(フロースルー)設計を、チューブ、ピラー、フレア接続で提供します。
特長- 流体接触部材料: PFA、PTFE、FFKM(高純度環境での化学的適合性)
- シングルポートおよびフロースルーの設計オプション
- ガスおよび相変化しない液体に対応
- 精度 ±1% FS、再現性 ±0.5% FS、保護等級 IP64
用途- Chemical and Mechanical Planarization (CMP)
- Electroless 塗布
- ウェットエッチング工程
- ウェットクリーンおよび化学分配システム
- 化学混合システム
- 超純水の監視
流体接続チューブ、ピラー、フレア
寸法(表)寸法 | 1/4\" | 3/8\" | 1/2\" | 3/4\" | 1\"
シングルポート | X | X | X | |
フロースルー | X | X | X | X | X
性能仕様(表)精度 | ±1% FS
再現性 | ±0.5% FS
周囲温度 | 0–50°C
媒体動作温度 | 10–70°C
測定可能流体 | ガスまたは相変化しない液体
最大使用圧力 | 測定範囲に依存; 通常は最大圧力の +2 bar 程度
保護等級 | IP64
電気仕様(表)出力オプション | アナログ — パッシブ 4–20 mA ループ、または 0–10 V DC
電源 | 24 V DC ±10%
消費電流 | 最大 30 mA @ 24 V DC
ケーブル | 1 m、3 m またはカスタム長、PVCジャケットケーブルあり
技術仕様- Brand: Malema
- Model: MPS-450
- 流体接触部材料: PFA、PTFE、FFKM
- 設計オプション: シングルポートまたはインラインフロースルー
- 接続オプション: チューブ、ピラー、フレア
- 適合流体: ガスまたは相変化しない液体
- 周囲温度範囲: 0–50°C
- 媒体動作温度: 10–70°C
- 精度: ±1% FS
- 再現性: ±0.5% FS
- 最大使用圧力: 測定範囲に依存; 通常は最大圧力の +2 bar
- 保護等級: IP64
- 出力: パッシブ 4–20 mA ループまたは 0–10 V DC
- 電源: 24 V DC ±10%
- 消費電流: 最大 30 mA @ 24 V DC
- ケーブルオプション: 1 m、3 m またはカスタム長、PVCジャケット