酸素発生器用圧力センサ LSPMN06-G series

相対シリコンMEMS

外部圧力に線形に関係する正確な電圧出力を提供するシリコン圧力センサー。このシリーズは、標準パッケージの非補償型センサー・デバイスで、その後の信号処理回路の設計や追加に柔軟に対応できます。このシリーズでは、性能の一貫性と再現性が高いため、温度と非線形性の補償は比較的簡単です。これは、Minchip社の最適化されたデバイス設計と独自のセンサー処理によるものです。また、MinerchipがMEMSデバイスの量産で培った経験と技術的優位性も、このシリーズの製品に生かされています。このシリーズのセンサーチップは、特殊な媒体によって内部が空気から隔離されており、湿度の高い環境でも使用できます。