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ウェハー用検査機
2 - 5 mm

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ウェハー用検査機 ウェハー用検査機 - 2 - 5 mm
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特徴

  • 応用:

    ウェハー用

詳細

ウェーハエッジ検査システムは、3 台の画像処理カメラを使用して、ウェーハの表面を高精度に測定します。 したがって、300nmを超える欠陥が確実に検出されます。 欠陥のあるウェーハは、後のプロセスステップに大きな影響を与え、生産の停止につながる可能性があります。
詳細
• 信頼性の高い欠陥検出
• 2 ~ 5 mmのウェハエッジ
• 高解像度画像処理システム
• 粒子、ひび割れ、傷、点形状および平坦な欠陥、エッチング欠陥、結晶成長、汚染、幾何学的偏差を検出

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)

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