相対圧力伝送器

歪みゲージシリコン電流出力

シリコン・オン・サファイア技術、及びひずみゲージを使用し、圧力を電気信号として測定する高精度、長期安定型の圧力センサです。測定目的により各種測定器に接続し、圧力の表示、記録、制御、監視などを行います。 特長 シリコン・オン・サファイア技術を用いた直圧式センサ サファイア(Al2O3単結晶)基板上にシリコン薄膜を形成(エピタキシャル成長)させたものです。このシリコン薄膜を用いたシリコン半導体ひずみゲージは、電気抵抗線そのものがサファイア基板に原子結合しており、物理的・電気的に極めて安定した理想的なセンサを構成します。H-IIAロケットに約60台/機採用されています。 自社製のひずみゲージを採用 長期安定性能に優れた自社製ひずみゲージを採用し、信頼性の高い高品質の製品を安定した供給力で提供しています。