超高真空真空チェンバ

ステンレス製

概要
MTVacuumは薄膜蒸着システム向けの真空チャンバーおよびコンポーネントを供給します。製品は真空工程向けに設計され、寸法、フランジやフィードスルーの構成など顧客仕様に合わせたカスタマイズが可能です。

社内金属加工および溶接の専門性

• 社内で管理する主な製造工程：切断、曲げ、金属成形。
• 溶接能力：資格を有する作業者によるTIGおよびMIG溶接。
• 取り扱い材料：炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金。

品質管理と試験

• 利用可能な非破壊検査：ヘリウム漏れ試験、X線検査、加圧試験、超音波検査。
• 破壊試験および材料試験（機械試験、金属組織検査）は要求に応じて実施し、適合性と信頼性を確認します。

用途
PVD、CVDなどの薄膜蒸着システムおよび半導体、光学、コーティング、研究分野の関連真空工程に対応します。

仕様 / 技術データ

• 製品種別：真空チャンバーおよび薄膜蒸着システム用コンポーネント。
• 製造範囲：社内での切断、曲げ、成形、溶接。
• 溶接方法：TIG、MIG。
• 材料：炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金。
• 品質/試験：ヘリウム漏れ試験、X線検査、加圧試験、超音波検査；破壊試験/材料試験は要求に応じて対応。
• カスタマイズ：寸法、ポート、フィードスルー、表面仕上げなど顧客仕様に合わせた設計。